RIE, IBS, PECVD
12英寸特種金屬膜層刻蝕設備
IBS
12英寸離子束塑形（IBS) 設備
8英寸離子束塑形（IBS）設備
RIE, IBD
8英寸離子束沉積（IBD）設備
ICP
12英寸硬掩膜刻蝕設備
ICP, Strip
12英寸金屬刻蝕設備
8英寸硅刻蝕設備
8英寸金屬刻蝕設備
8英寸電感耦合等離子體刻蝕（ICP）設備
8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕（ICP-DSE）設備
CCP
電容耦合等離子體刻蝕（CCP）設備
ICP-CVD
8英寸電感耦合等離子體化學氣相沉積設備
PECVD
8英寸等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備
VPD
氣相分解金屬沾污收集（VPD）設備
