RIE, IBS, PECVD
12英寸特種金屬膜層刻蝕設(shè)備
IBS
12英寸離子束塑形（IBS) 設(shè)備
8英寸離子束塑形（IBS）設(shè)備
RIE, IBD
8英寸離子束沉積（IBD）設(shè)備
